RPJ 系列射频电源依靠成熟的射频发生技术为基础，为客户提供更大的功率、精度更高、响应快速的射频电源。具有相位可设、脉冲可控等功能。适用领域：光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。